LayTec – integrated metrology for advanced processes

LayTec, gegründet 1999 in Berlin, ist einer der weltweit führenden Hersteller prozessintegrierter optischer Messtechnik für Dünnschichtprozesse in Industrie und Forschung. Die Messsysteme werden angewendet insbesondere in der Optoelektronik, Elektronik, Photovoltaik, Optik, Photonik, Halbleiterindustrie sowie bei der Herstellung von Flachbildschirmen und Speicherchips.

 

Messgeräte von LayTec liefern Echtzeitinformationen über die qualitätsbestimmenden Parameter von Beschichtungsprozessen – entweder in-situ während des Prozesses oder in-line während des Substrattransfers zwischen den Beschichtungsschritten.

 

Die von LayTec-Messsystemen gelieferten Echtzeitinformationen verkürzen die Entwicklungszyklen neuartiger Dünnschichtmaterialien und -strukturen mit ihren oft sehr komplexen Herstellprozessen. Integriert in Produktionslinien ermöglichen LayTec-Produkte zudem eine sehr effiziente Qualitätskontrolle und eine automatisierte Prozesssteuerung, wodurch sowohl Prozessausbeute als auch effektive Anlagenlaufzeiten deutlich gesteigert werden. Durch ihren modularen Aufbau können die Geräte zu leistungsstarken Mess-Stationen zusammengeführt, in unterschiedlichste Prozesse integriert und auch auf neueste Dünnschichtmaterialien angewandt werden.

 

Eine sehr enge Zusammenarbeit mit Anbietern von Beschichtungs- und Ätzanlagen und führenden Entwicklungslabors ermöglicht es LayTec, stets die besten Lösungen für die Analyse und Kontrolle von Dünnschichtprozessen zu entwickeln.